工业级硅片超声波清洗机合用于什么场景

　　工业级硅片超声波清洗机合用于半导体系体例制、光伏行业、电子元件出产、细密器械清洗等多种场景，其正在硅片制制环节的使用尤为环节。离子注入后及CVD后清洗：断根离子注入后留下的光刻胶和SiO₂层，以及化学气相堆积过程中发生的颗粒污染物。正在太阳能光伏行业，硅片制绒清洗是特定环节。定制化的工业超声波清洗设备能使用于太阳能硅片的清洗，其典型工艺流程包罗入料、超声波除油、多级漂洗、切水、热风干燥及出料等步调，以满脚光伏硅片的大规模、高效率清洗需求。连系清洗剂的化学感化，无效断根硅片概况的微粒、无机物、金属离子等污染物。从动化取细密节制：遍及采用PLC法式节制取触摸屏操做界面，支撑多工艺参数设定取流程切换。部门高端型号集成机械臂实现从动化上下料取搬运，切确定制的清洗方案：设备可按照具体工艺需求进行定制，例如正在半导体系体例制中兼容特定尺寸的晶圆，并采用多槽模块化设想，集成化学清洗、超声波辅帮、喷淋漂洗、干燥等多种功能。优良的兼容性取扩展性：除了硅片和晶圆，电板、压电陶瓷、磁性材料等电子及半导体相关元件。关心焦点参数：细心调查设备的超声波频次、功率、槽体尺寸、材质、温控系统、干燥体例等环节参数。